電源讀數器PDR-CJ1C-BCD

MKS射頻電源提供先進的RF等離子體產生和控制功能，可在最苛刻的薄膜處理應用中以低成本和高成品率提供。非常適合在集成電路，平板顯示器和數據存儲設備制造過程中用于等離子體增強化學氣相沉積（PECVD），高密度等離子體CVD（HDPCVD），蝕刻和其他薄膜應用。 我司有自行研發的電源各系列測試系統，常修的MKS RPS遠程離子體源、射頻電源、微波電源型號如下（常見故障有：通電無顯示、互鎖信號異常、無法啟動、啟動無輸出、反射功率大、輸出功率不穩定、過熱等）： ASTEX AX7670-18 ASTRONi (3L) AX7640 ASTEXAX7645PS-02ASTRON HFS (15 L) ASTEX ASTRONi 3L AX7670-19 0190-26744 ASTEX ASTRONi 3L AX7670-60 208VAC ASTRONi ASTeX AX7670-30 ASTEX ASTRON e/ex (4-8L)AX7685-36 PN 27-249173-001 ASTEXASTRON e/ex (4-8L) AX7685-33 RPS等離子電源 ASTEXASTRON 2L FI20620-1-C ASTEX ASTRON e/ex (4-8L)AX7685-20 PN 0190-34542W ASTEXAX7690LAM-23 ASTEX ASTRON e/ex (4-8L)AX7685-30 PN 27-406198-00 ASTEX ASTRON2L F120620-1 ASTEXASTRON e/ex AX7685-87G PN 0190-62795W ASTEX ASTRONi 3L AX7671-85 ASTEXASTRONi 3L AX7670-31 ASTEX ASTRON iAX7670-16 P/N 0190-24886 ASTEX ASTRON2LAX7651-2 ASTEX AX8560-1050 ASTEX RPS ASTRON2LAX7657-85 ASTEX FI20160-3 P/N 660-011161-702 3.0KW ASTEX FI20162-1 ASTRONi ASTeX AX7670-30 C13002 P/N 660-080455-635 13KwW SPECTRUM 11002-00 P/N 0190-22201 SPECTRUM B-3013-02 P/N O05541 3000W 維修MKS匹配器（常見故障有：反射功率偏高、無功率輸出、輸出功率不穩、復位異常、互鎖信號異常） MW-10D MW-5D-01B MW-5DM12 MW-25D-05M1 MW-25LD MW-50 MWD-25LD MWD-55LD MWH-5 MW-5D DCG-200E OPTIMA OPT-100E-15042 DCG-100A DCG-75 DCG-75E DCG-100 DCG-100E DCG-100Z DCG-150 DCG-150E DCG-200 DCG-200Z DCG-400 DCG-600 RPG-50 RPG-100 RPG-200 OPT-50 OPT-100 OPT-200 OPT-400 OPT-600 Polara-260A B-10513 SPECTRUM 10513-00 P/N 0190-36638 B-3013 SPECTRUM 3013-083000W Revolution llIl Ax7695PSK-11 RPS MWH-25 MWH-100 MWH-100M MWM-25 PDR-C-1C-BCD PDR-CJ1C-BCD B3013 651D-15413 1022036-001 152d-po-s DOFBC2-075 DOFBC2-083 DOFBC2-084 w2513 M3513 MWD-25LD-02 MWD-25LD-6 MWH-100-01 MWD-MWD-55LD-01 MHW-25-04 MWO 5 MWO 70 MWO 100