ULVAC愛發科
分子泵控制FTI-1400W-D3
維修案例實拍圖
愛發科（ULVAC）是1952年由日本生命保險公司、松下電器產業股份有限公司等6家公司共同投資建立。愛發科以真空技術為核心，為平板顯示、集成電路等高端制造業提供優質的設備、材料、真空配套產品及服務。愛發科的目標是通過對材料技術的綜合利用，為工業與科學的發展做出貢獻。。
我司有自行研發的成熟的電源各系列測試系統，常修的ULVAC愛發科 濺射用D脈沖電源型號如下（常見故障有：通電無顯示、無法啟動、啟動無輸出、輸出電壓偏小或偏大、輸出電流偏小或偏大、過熱等）：
DC-10-D DC-10-DH DC-20-D DC-20-DH DC-10-AM DC-10-H-AM DC-10-4-AM
DC-20-AM DC-20-H-AM DC-20-4-AM DC-30-44H-E DC-2 DC-4 DCS0052B
A2KH-25 A2K-20K A2K-40K MFU-20K
ULVAC愛發科 RF射頻電源型號（常見故障有：通電無顯示、電源無法啟動、無輸出功率、反射功率偏高、入射功率偏低、輸出功率不穩、過熱、互鎖信號異常等）：
RMG-1303 RFS-1305N RFS-1310N RFS-1330N RFS-1350N MBX-1305N
MBX-1310N MBX-1330N MBX-1350N MEX2N-1k MEX2N-3k MEX3N-1k
MEX3N-3k MEX4N-1k MEX4N-3k MEX5N-1k MEX5N-3k MEX6N-1k
MEX6N-3k MEX7N-1k MEX7N-3k MEX8N-1k MEX8N-3k PHS-04N
PHS-08N EXO-13
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